激光切割加工采用光泵浦方式工作。泵浦系統(tǒng)包括泵浦源電源和聚光腔。根據(jù)電源工作方式的不同。可以分為連續(xù)和脈沖兩大類。泵浦源包括惰性氣體放電燈（閃光燈和連續(xù)弧光燈）、金屬蒸氣放電燈（求弧燈、威金屬燈）、二極管（LD）、白熾燈和太陽能。其中最常用的是惰生氣體放電燈和LD.惰性氣體放電燈是前規(guī)固體激光器廣為使用的泵浦光源，以脈沖氙燈和連續(xù)氨弧燈為代表。氙燈是一種亮度較高的非相干輻射源，有高的電一光轉(zhuǎn)換效率（70%）和紫外到紅外（0.2~1.8pm）寬的輻射光譜范圍，是用于脈沖工作Nd:YAG激光器和釹玻璃微光器的常規(guī)泵鋪光源。
氙燈由外加高壓電脈沖觸發(fā)方式啟動，分為外觸發(fā)和內(nèi)觸發(fā)兩種方式。由于氮比氙的線狀光譜能更好地與Nd:YAG晶體的吸收譜相匹配，因此氨弧燈常作為連續(xù)工作Nd:YAG激光器的泵浦光源。經(jīng)過測量，在0.3~1.2pum光譜范國內(nèi)。氪弧燈的輻射效率約為40%。雖然閃光燈的輻射效率高，但它們的寬帶輻射譜中只有一小部分能被微活粒子所吸收其余部分大多以熱的形式散逸有害的紫外輻射還會使工作物質(zhì)劣化。因此可使用LD普代惰性氣體放電燈。
可選擇LD激光發(fā)射波長落在激活離子的主吸收線上。這樣使激勵效率大為提高。熱效應(yīng)顯著降低。激光切割加工器件結(jié)構(gòu)緊湊、壽命長，連續(xù)工作LD壽命超過10*h，脈沖工作在10*次以上，遠遠超過閃光燈的200h和106次。LD泵浦的全固態(tài)器件體積小、重量輕、效率高、工作性能穩(wěn)定，已成為固體激光器的一個重要發(fā)展方向。
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