如果激光切割加工能量在金屬、塑料等結(jié)構(gòu)材料中的沉積足夠強，材料表面層局部區(qū)域會發(fā)生熔融以至氣化。激光引起的氣化、焦化、噴射或燃燒使得材料表面發(fā)生質(zhì)量遷移的現(xiàn)象稱為激光燒蝕。聚焦激光束對材料的加熱熔融、氣化和燒蝕效應(yīng)是激光加工（刻蝕、焊接打孔、切割、表面熔凝熔復(fù)、合金化、非晶化和沖擊硬化等）的基本手段。
復(fù)合材料的樹脂基體容易受激光照射而燃燒，并釋放化學(xué)能。某些復(fù)合材料基體對一定波長的激光切割加工有些透明，材料表面尚未相變時其內(nèi)部可能已發(fā)生熱膨脹或升華，使得表面層不斷焦化、剝離和噴濺加劇了深層燒蝕。
激光束的強電場可引起透明介質(zhì)的電離產(chǎn)生擊穿。但是在較弱激光作用下光學(xué)材料、薄膜和光電探測器產(chǎn)生損傷的主要機理是，缺陷或雜質(zhì)的激光吸收以及受激布里淵散射產(chǎn)生的局部熱應(yīng)力炸裂熔融、聲波彈性應(yīng)力、多光子電離或電子崩等。
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