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        激光切割加工的激光損傷形式可以分為功率損傷和能量損傷，前者指高功率短脈沖的激光電場(chǎng)效應(yīng)引起的應(yīng)力損傷，多以炸裂形式為主；后者指長脈沖和連續(xù)激光的高能量引起的熱效應(yīng)損傷，多以熱熔融形式為主。光學(xué)元件的激光損傷部位，可分為體損傷、面損傷和薄膜的界面損傷。

        激光切割加工表面損傷閾值一般都低于其體損傷閾值，最大可相差一個(gè)數(shù)量級(jí)。這是因?yàn)樵砻嬖诩庸ず蛻?yīng)用過程中形成更多缺陷，并吸附了更多的雜質(zhì)使其抗激光損傷能力降低。光學(xué)材料體內(nèi)可能發(fā)生小尺寸自聚焦現(xiàn)象致使其體損傷閾值也比理論預(yù)計(jì)的低。激光切割加工照射薄壁結(jié)構(gòu)除了材料破壞引起的效果外，還有熱應(yīng)力波或氣化沖量引起的結(jié)構(gòu)動(dòng)力響應(yīng)、結(jié)構(gòu)機(jī)械載荷和局部材料熱軟化聯(lián)合作用造成的斷裂、屈曲失穩(wěn)以至坍塌等現(xiàn)象。

        激光照射下由于升溫引起的局部范圍材料力學(xué)性質(zhì)的變化，是結(jié)構(gòu)被激光破壞的重要原因。值得注意的是，激光照射下某些受力結(jié)構(gòu)光斑區(qū)的局部材料雖未完全失效，但已可能形成薄弱環(huán)節(jié)，在外界載荷作用下結(jié)構(gòu)也有可能發(fā)生損壞。
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